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压力传感器芯体

小尺寸MEMS硅压阻式高精度压力传感器芯体,恒压恒流供电

作者:罗工    来源:俊德科技    发布时间:2020-04-04 19:34:57    浏览量:

小尺寸MEMS压力传感器芯体
是基于MEMS(微机电系统)技术的硅压阻式传感器,是一款高稳定性,高精度的压力测量芯体。直径12.6mm,有带螺纹接头选项。

特点:压力量程10Kpa-10Mpa,mV输出,高低温补偿 ,差压表压或绝压。提供恒流供电和恒压供电两种模式。

             Pressure range 10Kpa-10Mpa, mV out put, temperature 

             compensated, Differential Gage or Absolute

应用:自动化控制 压力仪表 液位测量 压力变送器等

Applications: Process control,  Pressure instruments, Liquid level, 

                           Pressure Transducers
 

恒流源产品技术参数 (激励电流1.5mA, 25℃下预热10分钟)
参数   典型值  
精度(%FS)      
非线性1   ±0.10 ±0.20
迟滞2   ±0.05 ±0.10
重复性3   ±0.05 ±0.10
输出(mV)      
零点输出 -2 ±1 2
满量程输出(FS) 70    
温度特性      
工作温度(℃) -40   125
补偿温度(℃) 100Kpa 0   70
>100Kpa -10   70
零点温度误差(%FS)4   ±0.75 ±1.0
满量程温度误差(%FS)4   ±0.75 ±1.0
温度迟滞(%FS)5   0.1  
长期稳定性(±%FS/年)      
零点   0.1  
满量程   0.1  
供电电流(mA) 0.5 1.5 2
输入阻抗(kΩ) 2.0 2.5 3
输出阻抗(kΩ) 2.5 3.0 3.7
输出负载电阻(MΩ)6 5    
绝缘电阻(MΩ/100V)7 100    

 

恒压源产品技术参数(激励电压10VDC, 25℃下预热10分钟)
参数   典型值  
精度(%FS)      
非线性1   ±0.10 ±0.20
迟滞2   ±0.05 ±0.10
重复性3   ±0.05 ±0.10
输出(mV)      
零点输出 -2 ±1 2
满量程输出 < 7Mpa 98 100±1 102
7Mpa 147 150±1.5 153
温度特性      
工作温度(℃) -40   125
补偿温度(℃) 100Kpa 0   70
>100Kpa -10   70
零点温度误差(%FS)4   ±0.75 ±1.0
满量程温度误差(%FS)4   ±0.75 ±1.0
温度迟滞(%FS)5   0.1  
长期稳定性(±%FS/年)      
零点   0.1  
满量程   0.1  
供电电压(VDC)   10 14
输入阻抗(kΩ) 6.0 8.0 10.0
输出阻抗(kΩ) 2.5 3.0 3.7
输出负载电阻(MΩ)6 5    
绝缘电阻(MΩ/100V)7 100    
压力量程 0-100Kpa…7Mpa(详见选型表)
压力过载 ≤4Mpa 2倍
7Mpa 1.5倍
压力介质 与316L不锈钢兼容的液体、气体和蒸汽


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